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邁可諾技術有限公司

主營產品： 美國Laurell勻膠機,WS1000濕法刻蝕機,Cargille光學凝膠,EDC-650顯影機,NOVASCAN紫外臭氧清洗機

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簡單介紹：橢圓偏振光譜（SE）是一種成熟的光學技術，用于以非破壞性和非接觸方式表征塊狀材料，薄膜，涂層，表面層和嵌入層。對于常規和晶圓廠加工質量控制，必須有一個自動盒式裝卸機。為此，我們開發了一種低成本解決方案，可將晶圓尺寸從2“擴展到8"（臺式），將塔式尺寸擴展到12“。用戶甚至可以為每個插槽定義配方，從而為整個盒式磁帶測量定義配方。

簡單介紹：橢圓偏振光譜儀SE-Solar專為光伏（PV）應用而設計。它可以配置為覆蓋DUV到NIR范圍，可以使用手動測角儀以5度間隔改變入射角，也可以配置為自動測角儀，分辨率為0.001度。基于陣列的檢測設置可為用戶提供快速測量，每個數據只需幾秒鐘。當需要映射或實時原位測量時，這是所有SE模型中的*選擇。

簡單介紹：對于某些應用（例如MEMS或半導體產品晶圓上的功能），希望有一個小的探測點。將顯微分光光度計與橢圓偏振光度計集成在一起后，工具的功能將大大擴展。可通過橢圓偏振光度法在超薄膜上工作，并且還具有通過微反射法與橢圓度計和微分光光度計相結合的*配置的小面積微反射法。